大家常見的工業相機有面陣相機、線掃相機,彩色相機、黑白相機,CCD相機、CMOS相機等種類。而工業相機的分類,根據芯片形式、芯片材質、輸出圖像顏色等不同參考系,有多種標準不一的分類方式,如:按照光譜波段范圍的不同,可以分為可見光(普通)相機、紅外相機、紫外相機等,今天我們要介紹以及簡析應用的,是UV紫外相機:JAI-GO-8105M-5GE-UV。



JAI-GO-8105M-5GE-UV 相機展示
機器視覺應用將紫外線劃分為三個波段,分別是:UVA、UVB、UVC。
UVA位于紫外波譜中波長最長的區域,在320-400nm,能被一些靈敏度有限的可見光相機觀測到。
UVB的波長范圍為280-320nm,需要使用靈敏度更高且觀測更精細的專業紫外相機觀測。
最后是UVC,該波段的波長是三者中最短的,為100-280nm。

JAI-GO-8105M-5GE-UV采用的是最先進的索尼Pregius S背照(BSI)技術傳感器,保證了良好的通光量,幫助其在縮減相機體積的同時,確保相機的量子效率表現。相機在200 nm波段的量子效率高于25%,整個UVA和UVB波段的量子效率在40%-50%之間。在保證高量子效率的同時,JAI-GO-8105M-5GE-UV還兼顧小巧可靠、高幀率(5GBASE-T GigE Vision–66 FPS)、高穩定性等特點。相較于那些價格高昂的科研紫外相機來說,JAI-GO-8105M-5GE-UV無疑是一個很有吸引力的選擇。

JAI-GO-8105M-5GE-UV量子效率
GO-8105M-5GE-UV提供從1000 nm到200 nm及以下的廣泛光譜靈敏度,又兼顧高穩定性高可靠性,確保它可以勝任食品藥品、安全印刷、電子缺陷等多維度、多行業的差異化、多樣化的檢測需求。



應用
在晶圓制造以及檢測方面的應用有:裸晶圓檢測、圖案晶圓檢查、光掩模對準以及晶圓鍵合等。
圖案晶圓的檢測對象主要是晶圓表面在進行圖案光刻時可能產生的缺陷或錯誤,例如,晶圓表面上圖案的缺陷、錯位以及特征缺失等。利用晶圓表面的圖案和周圍材料對紫外線的反射或吸收程度不同的特性,配合算法分析圖像,可以更加準確地確定晶圓上缺陷的大小、形狀和位置。

裸片晶圓

圖案晶圓檢查
光掩模對準:
光刻機在刻蝕圖形時采用類似照片沖印的技術,把掩模版(印制了需要蝕刻圖案的光敏記錄材料)上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。在此過程中,借由光掩模和晶圓表面未對準而導致對紫外線反射或吸收程度差異的特性,可以使用紫外相機拍攝被照亮的光掩模,然后對高分辨率圖像進行分析計算模版對準情況。

光刻
因此,充分利用上述分析各應用場景的紫外特性,增加或使用紫外光源、紫外相機模組,捕捉晶圓表面的高分辨率圖像,使用圖像處理算法進行圖像分析,可以對各種缺陷進行識別和分類,有效提高污染或者缺陷檢出率,綜合提升設備可靠性和專業性,精準解決終端制造檢測的難點和痛點。
除此之外,紫外在其他行業應用的優勢也是顯而易見的。
電子產品和電弧/電暈檢查。電弧/電暈本質都是大氣壓下的空氣放電, 空氣中的電子在不均勻的高強度電場中運動,擊穿空氣,在放電的過程中會伴隨著產生光、聲、臭氧、熱量以及化學物質等。目前,除了利用超聲波檢測技術、紅外熱像檢測技術,紫外特性也越來越被重視,利用紫外光學成像系統,不僅可以直接觀察電弧/電暈的放電位置,還可以獲知電弧/電暈的強度情況,獲得電力設備的放電分布與強度等多方位的信息。

a.紫外通道 b.可見光通道
醫療領域,真菌或者細菌對紫外線較為敏感,在紫外環境下會發出各種顏色的熒光。紫外線還可凸顯皮膚色素(黑色素),使色素更加清晰可見。如白癜風,白癜風色素缺失在紫外環境下發象牙白色熒光,而色素減退皮損則不發光。癬在紫外環境下發出特征性亮橙紅色熒光,由犬微孢子菌和頭癬小孢霉菌引起的頭癬會發出亮綠色熒光。而皮膚假單胞菌Pseudomonas 感染(如燒傷患者)早期,則有綠色熒光的特性。利用這些特性搭建紫外檢測環境以及系統設備,配合優秀的算法進行查找識別,患者的檢查體驗或許會變得更加奇妙。

凸顯色素
安全印刷方面,銀行票據、護照、彩票和其他類似物品的特殊安全標記,僅在紫外光譜下可見。

紫外標識
充分利用被檢測物在紫外環境中的差異化反應,增加或使用紫外檢測系統,能夠使目標物體更加明顯、更加易查找,使檢出缺陷更加突出、更加具有辨識度,從而助力實現最終的檢測目標。
毫無疑問,UV相機是UV檢測系統中至關重要的一環,而JAI-GO-8105M-5GE-UV是一款成熟且優秀的產品,優異的UV性能使其能夠出現在大多數的應用場景中,完善且周全的服務支持也助力客戶更加方便快捷、高效自如地運用相機設備。
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